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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3CVDsky-atm-A14466 | skytech | ATM-12002 | ALD（原子層堆積）製造装置(ATOMILA)/300mm | 2020 | 1 | |
| * | 3CVDsky-atm-A14467 | skytech | ATM-12004 | ALD（原子層堆積）製造装置(ATOMILA)/300mm | 2020 | 1 | |
| * | 3CVDsky-atm-A14468 | skytech | ATM-12005 | ALD（原子層堆積）製造装置(ATOMILA)/300mm | 2020 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tel-A13698 | 東京エレクトロン | TEL | SFDTIN CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tel-A13699 | 東京エレクトロン | TEL | SFDTIN PM4 CVD チャンバー/12in | 2007 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13684 | 東京エレクトロン | Trias | CVD装置/12in | 2003 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13700 | 東京エレクトロン | Trias | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 | |
| * | 3CVDtel-tri-A13701 | 東京エレクトロン | Trias | CVDチャンバー/12in | 2017 | 1 |
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