| TTC ID | 3CVDtel-tel-A13699 |
|---|---|
| Maker | TEL |
| メーカー | 東京エレクトロン |
| 型式 | TEL |
| Description | CVD chamber: SFDTIN PM4/12in |
| 品名・仕様 | SFDTIN PM4 CVD チャンバー/12in |
| 年式 | 2007 |
| 台数 | 1 |
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