| TTC ID | 3CVDsky-atm-A14468 |
|---|---|
| Maker | skytech |
| メーカー | skytech |
| 型式 | ATM-12005 |
| Description | cvd: ALD System(ATOMILA)/300mm |
| 品名・仕様 | ALD（原子層堆積）製造装置(ATOMILA)/300mm |
| 年式 | 2020 |
| 台数 | 1 |
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