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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 6RTPag -hea-A13602 | AG Associates | AG Associates | Heatpulse 4100 | RTP/6in. | RTP/6in. | Inq. | 1 | |
| * | 6RTPmat-ast-A13601 | Mattson | Mattson | AST2800 | RTP/6in. | RTP/6in. | Inq. | 5 | |
| * | 6RTPpre-rtp-A14383 | PREMTEK | PREMTEK | RTP-1201A | RTP/6in. | RTP/6in. | 2019 | 1 | |
| * | 6RTPsmi-swa-A15279 | SMIT | 住友重機械 | SWA-20US | RTP: Laser Annealing System/6in. | レーザーアニール装置/6in. | 2019 | 1 | |
| * | 6RTPsun-srd-A5553 | Sunred | Sunred | SRD-TH-091127 | RTP/6in. | RTP/6in. | 2010 | 1 |
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