| TTC ID | 6RTPsmi-swa-A15279 |
|---|---|
| Maker | SMIT |
| メーカー | 住友重機械 |
| 型式 | SWA-20US |
| Description | RTP: Laser Annealing System/6in. |
| 品名・仕様 | レーザーアニール装置/6in. |
| 年式 | 2019 |
| 台数 | 1 |
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