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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 6EPIcds-epi-A7035 | CDS Epitaxy | EpiPro 5000 | エピタキシャルリアクター/6in | Inq. | 1 | |
| * | 6EPIgem-3e-A9472 | ジェミニ | 3E | エピタキシャルリアクター/4"-6" | inq. | 3 | |
| * | 6EPIgem-g2-A13515 | Gemini | G2 | EPI(エピタキシャル)装置/6in | Inq. | 2 | |
| * | 6EPItel-pro-A14682 | 東京エレクトロン | Probus-Sic | EPI(エピタキシャル)装置/6in | 2011 | 1 |
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