| TTC ID | 6EPItel-pro-A14682 |
|---|---|
| Maker | TEL |
| メーカー | 東京エレクトロン |
| 型式 | Probus-Sic |
| Description | EPI(Epitaxial)/6in. |
| 品名・仕様 | EPI(エピタキシャル)装置/6in |
| 年式 | 2011 |
| 台数 | 1 |
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