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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 6DRYama-p-5-A15052 | AMAT | AMAT | P-5000(MxP) | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYama-pe8-P14684 | AMAT | アプライドマテリアルズ | PE8330 | dry: Plasma etcher | プラズマエッチ装置 | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYcor-300-A8415 | Corial | Corial | 300IL | Dry: ICP | ICPエッチャー | Inq. | 3 | |
| * | 6DRYcor-cor-G10073 | Corial | Corial | Corial 300IL | DRY:ICP Etcher | ICPエッチャ | inq | 2 | |
| * | 6DRYhit-m30-G11117 | Hitachi | 日立 | M308 | Dry Etch/6in | ドライエッチ/6in | inq. | 1 | |
| * | 6DRYhit-m30-P14688 | Hitachi | 日立 | M308 | dry: Plasma etcher | プラズマエッチ装置 | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYhit-m31-K11175 | Hitachi | 日立ﾊｲﾃｸﾌｨｰﾙﾃﾞｨﾝｸ | M318 | DRY:Gate etch | ｹﾞｰﾄｴｯﾁ | inq. | 1 | |
| * | 6DRYhit-m-3-A12664 | Hitachi | 日立 | M-308A | Dry etcher/5in | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 3 | |
| * | 6DRYlam-490-A12665 | LAM | LAM | 490 | Dry etcher/5in | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 2 | |
| * | 6DRYlam-490-A8513 | Lam | Lam | 490 | dry: Etcher/6in. | エッチャー/6in. | 1995 | 1 | |
| * | 6DRYlam-590-A12666 | LAM | LAM | 590 | Dry etcher/5in | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYlam-rai-A15053 | Lam | Lam | Rainbow4420 | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYlam-rai-A15054 | Lam | Lam | Rainbow4520i | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYnmc-ele-G12719 | NMC(North Microelectronics) | NMC(North Microelectronics) | ELEDE 380 | Dry: ICP Etcher | ICP エッチャー | 2018 | 8 | |
| * | 6DRYpan-e60-A15006 | Panasonic | パナソニック | E600L | Dry: ICP Etcher | ICP エッチャー | Inq. | 2 | |
| * | 6DRYpan-e60-P11751 | Panasonic | パナソニック | E600L NM-EFE2AA | Dry Etcher | ドライエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYpla-vlr-A14011 | Plasma Therm | Plasma Therm | VLR700 | Dry etcher/6in | ドライエッチ装置/6in | 1998 | 1 | |
| * | 6DRYqin-inq-G6164 | Qingdao Jing Cheng | Qingdao Jing Cheng | Inq. | Dry : Eching machine | エッチング装置 | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYsam-rie-A7865 | SAMCO | SAMCO | RIE-200IPC | Dry: ICP Etcher | ICP Etcher | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYsam-rie-D6398 | SAMCO | SAMCO | RIE-200ip | Dry etcher | ドライエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYshi-cde-Q11483 | Shibaura | 芝浦 | CDE-7-4 | Dry Etching: CDE | CDE装置 | 1994 | 1 | |
| * | 6DRYspt-ome-A14216 | SPTS | SPTS | Omega C2L VHF | Dry etcher/6in. | ドライエッチ装置/6in. | 2019 | 1 | |
| * | 6DRYstp-ome-P14333 | STPS | STPS | OMEGA C2L | Dry Etcher | エッチング装置 | 2021 | 1 | |
| * | 6DRYsts-mul-A8520 | STS | STS | Multiple | Dry: ICP | ICPエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYteg-600-G10104 | TEGAL | TEGAL | 6000 | DRY:Plasma etcher | プラズマエッチャ | inq | 1 | |
| * | 6DRYteg-901-G10103 | TEGAL | TEGAL | 901e | DRY:Plasma etcher | プラズマエッチャ | inq | 7 | |
| * | 6DRYteg-903-A13093 | TEGAL | TEGAL | 903e | dry: Etcher/6in | エッチャー/6in | Inq. | 4 | |
| * | 6DRYteg-teg-A15058 | Tegal | Tegal | Tegal-903 | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 7 | |
| * | 6DRYtel-te4-A15056 | TEL | 東京エレクトロン | TE4000 | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtel-te5-A14342 | TEL | 東京エレクトロン | TE5000 | Dry etcher/6in. | ドライエッチング装置/6in. | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtel-te5-A15057 | TEL | 東京エレクトロン | TE5000ATC | Dry Etch/5in | ドライエッチャー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtel-te5-P14687 | TEL | 東京エレクトロン | TE5000 | Dry etcher | ドライエッチング装置 | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtel-te--A12662 | TEL | 東京エレクトロン | TE-8400PE | Dry etcher/5in | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtel-te--A12663 | TEL | 東京エレクトロン | TE-5000 | Dry etcher/5in | ドライエッチ装置/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6DRYtok-oap-K9622 | TOKYO OHKA KOGYO | 東京応化工業 | OAPM-SH406 | Dry-etcher/6in | ドライエッチャー/6in | 1988 | 1 | |
| * | 6DRYyok-472-K11171 | Yokogawa | 横河電機ソリューションズ | 4720 | DRY:Rainbow | Rainbow | inq. | 1 |
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