| TTC ID | 6DRYpla-vlr-A14011 |
|---|---|
| Maker | Plasma Therm |
| メーカー | Plasma Therm |
| 型式 | VLR700 |
| Description | Dry etcher/6in |
| 品名・仕様 | ドライエッチ装置/6in |
| 年式 | 1998 |
| 台数 | 1 |
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