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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3FURavi-cel-A0578 | アビザテクノロジー | Celsior | 拡散炉/12in. | Inq. | 2 | |
| * | 3FURavi-cel-A5664 | アビザテクノロジー | Celsior | 原子層堆積（ALD）システム | Inq. | 2 | |
| * | 3FURavi-rvp-A14822 | AVIZA | RVP300 | 拡散炉/12in. | Inq. | 2 |
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