| TTC ID | 3FURavi-cel-A5664 |
|---|---|
| Maker | AVIZA |
| メーカー | アビザテクノロジー |
| 型式 | Celsior |
| Description | fur: Atomic Layer Deposition (ALD) systems |
| 品名・仕様 | 原子層堆積（ALD）システム |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 2 |
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