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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3DRYama- ad-A13692 | AMAT | AMAT | AdvantEdge_GT | dry: Poly Etcher/ 12in | Poly Etcher/12in | 2010 | 1 | |
| * | 3DRYama-cen-A14821 | AMAT | アプライドマテリアルズ | Centris | Dry etcher/12in. | ドライエッチャー/12in. | Inq. | 1 | |
| * | 3DRYama-cen-A5668 | AMAT | アプライドマテリアルズ | Centris | dry: Etcher | エッチャー 12in. | Inq. | 1 | |
| * | 3DRYama-ena-A9933 | AMAT | アプライドマテリアルズ | Enabler | Dry Etch | ドライエッチ | inq | 2 | |
| * | 3DRYlam-inq-A13778 | LAM | ラムリサーチ | Inq. | dry: Chamber(OXE)/12in | チャンバー(OXE)/12in | Inq. | 1 | |
| * | 3DRYlam-inq-A13779 | LAM | ラムリサーチ | Inq. | dry: Chamber(PLY)/12in | チャンバー(PLY)/12in | Inq. | 1 | |
| * | 3DRYsem-tri-P9801 | Semsysco | Semsysco | Triton | DRY:chamber spin etcher + chemical delivery unit | エッチャー＋薬液供給装置 | 2018 | 1 | |
| * | 3DRYtel-(in-A1330 | TEL | 東京エレクトロン | (Inq.) | Dry Etch | ドライエッチ | Inq. | 8 | |
| * | 3DRYtel-308-A2902 | TEL | 東京エレクトロン | 308SCCM | Dry Etch | ドライエッチ | Inq. | 2 | |
| * | 3DRYtel-308-P2083 | TEL | 東京エレクトロン | 308SCCM | Dry Etch | ドライエッチ | Inq. | 2 |
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