| TTC ID | 3DRYsem-tri-P9801 |
|---|---|
| Maker | Semsysco |
| メーカー | Semsysco |
| 型式 | Triton |
| Description | DRY:chamber spin etcher + chemical delivery unit |
| 品名・仕様 | エッチャー＋薬液供給装置 |
| 年式 | 2018 |
| 台数 | 1 |
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