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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 1DRYcor-300-F13537 | Corial | Corial | 300IL | dry: Plasma Etching machine | プラズマエッチング装置 | Inq. | 7 | |
| * | 1DRYmax-300-P14194 | MAXIS | MAXIS | 300LCH | Dry Etcher | ドライエッチ装置 | 2012 | 12 | |
| * | 1DRYtop-hie-P14195 | TOP Engineering | TOP Engineering | HietechLX-380 | dry: ICP Etcher/380mm | 380mm ICP エッチャー | Inq. | 3 |
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