| TTC ID | 1DRYcor-300-F13537 |
|---|---|
| Maker | Corial |
| メーカー | Corial |
| 型式 | 300IL |
| Description | dry: Plasma Etching machine |
| 品名・仕様 | プラズマエッチング装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 7 |
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