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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 6COAcan-cds-K10316 | Canon | キヤノン | CDS-630 | COA:developer | ポジレジスト現像装置 | 1998 | 1 | |
| * | 6COAdai-cus-A5547 | DAITRON TECHNOLOGY | ダイトロン | Custom order | Coater/5in. | コーター/5in. | Inq. | 1 | |
| * | 6COAdns-skw-A12653 | DNS | 大日本スクリーン | SKW-636-BV | Coater/Developer/5in | コータ・デベロッパ/5in | Inq. | 14 | |
| * | 6COAm.s-ms--K12109 | M.SETEK | エム・セテック | MS-132 | Coater: Spin/SOG | スピンコーター/SOG塗布装置 | 1993 | 1 | |
| * | 6COAsvg-860-A12655 | SVG | SVG | 860 | coa: Developer/5in | デベロッパー/5in | Inq. | 1 | |
| * | 6COAsvs-msx-A10750 | SVS | SVS | MSX1000 | Coater/Developer | コータ・デベロッパ | Inq. | 7 | |
| * | 6COAsvs-msx-G12716 | SVS | SVS | MSX-1000 | Coater/Developer | コータ・デベロッパ | Inq. | 5 | |
| * | 6COAtel-cle-A8512 | TEL | 東京エレクトロン | CLEAN TRACK | Coat: wafer edge exclusion track/6in | ウエハエッジイクスクルージョン/6in | 1995 | 1 | |
| * | 6COAtel-mar-A14325 | TEL | 東京エレクトロン | Mark-Vz | Coater/6in. | コーター/6in. | Inq. | 1 | |
| * | 6COAtel-mar-A14326 | TEL | 東京エレクトロン | Mark-Vz | Coat: Developer/6in. | デベロッパ/6in. | Inq. | 1 | |
| * | 6COAtel-mar-A14596 | TEL | 東京エレクトロン | Mark-Vz | Coater(2c)/6in. | コーター(2c)/6in. | 1995 | 1 | |
| * | 6COAtel-mar-A14597 | TEL | 東京エレクトロン | Mark-Vz | Coat: Developer(3d)/6in. | デベロッパ(3d)/6in. | 1995 | 1 | |
| * | 6COAtel-mk--A15048 | TEL | 東京エレクトロン | MK-V | Coater Developer/5in | コーター・デベロッパー/5in. | Inq. | 7 | |
| * | 6COAtok-asp-A12654 | Tok | 東京応化 | ASP-LE（N） | Coater/5in | コーター/5in | Inq. | 2 |
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