| TTC ID | 6COAm.s-ms--K12109 |
|---|---|
| Maker | M.SETEK |
| メーカー | エム・セテック |
| 型式 | MS-132 |
| Description | Coater: Spin/SOG |
| 品名・仕様 | スピンコーター/SOG塗布装置 |
| 年式 | 1993 |
| 台数 | 1 |
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