| TTC ID | 5INShit-wi--Q0156 |
|---|---|
| Maker | HITACHI |
| メーカー | 日立 |
| 型式 | WI-890 |
| Description | Inspection/Wafer Visual /6in. |
| 品名・仕様 | ウエハ外観検査機/6in. |
| 年式 | 1997 |
| 台数 | 1 |
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