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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8FURtel-alp-P14701 | 東京エレクトロン | Alpha8S | 拡散炉 (ALOY) | Inq. | 1 | |
| * | 8FURtel-alp-P14704 | 東京エレクトロン | Alpha8SE | 拡散炉 | Inq. | 2 | |
| * | 8FURtem-ts8-A8514 | Tempress | TS81254 | 拡散炉/8in. | 2014 | 1 | |
| * | 8FURtys-tyt-A1689 | TYSTAR | TYTAN II | 拡散炉 | 1998 | 3 |
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