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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 8EPIapp-cen-Q14605APPLIED MATERIALSアプライドマテリアルズCENTURA5200Epitaxial system/200mmエピタキシャル成長装置/200mm20001
* 8EPIapp-cen-Q14606APPLIED MATERIALSアプライドマテリアルズCENTURA5200Epitaxial system/200mmエピタキシャル成長装置/200mm20041
* 8EPIapp-cen-Q14607APPLIED MATERIALSアプライドマテリアルズCENTURA5200Epitaxial system/200mmエピタキシャル成長装置/200mm19961
* 8EPInuf-ht2-Q14608NuFlare TechnologyニューフレアテクノロジーHT2000BEpitaxial system/200mmエピタキシャル成長装置/200mm19971
* 8EPInuf-ht2-Q14609NuFlare TechnologyニューフレアテクノロジーHT2000BEpitaxial system/200mmエピタキシャル成長装置/200mm19991

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