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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8EPIapp-cen-Q14605 | アプライドマテリアルズ | CENTURA5200 | エピタキシャル成長装置/200mm | 2000 | 1 | |
| * | 8EPIapp-cen-Q14606 | アプライドマテリアルズ | CENTURA5200 | エピタキシャル成長装置/200mm | 2004 | 1 | |
| * | 8EPIapp-cen-Q14607 | アプライドマテリアルズ | CENTURA5200 | エピタキシャル成長装置/200mm | 1996 | 1 | |
| * | 8EPInuf-ht2-Q14608 | ニューフレアテクノロジー | HT2000B | エピタキシャル成長装置/200mm | 1997 | 1 | |
| * | 8EPInuf-ht2-Q14609 | ニューフレアテクノロジー | HT2000B | エピタキシャル成長装置/200mm | 1999 | 1 |
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