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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8DRYlam-tcp-P14693 | LAM | ラムリサーチ | TCP9400DFM | dry: Poly Etcher | ポリエッチャー | Inq. | 1 | |
| * | 8DRYnau-gse-S14807 | NAURA | NAURA | GSE S200 | dry: ICP plasma etcher | ICPプラズマエッチャー | 2023 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14705 | Samco | サムコ | RIE-200IPC | Dry: ICP Etcher | ICP Etcher | 2007 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14706 | Samco | サムコ | RIE-212IPC | Dry: ICP Etcher | ICP Etcher | 2004 | 1 | |
| * | 8DRYsam-rie-A14707 | Samco | サムコ | RIE-200LE | Dry: ICP Etcher | ICP Etcher | 2007 | 1 | |
| * | 8DRYtel-88d-A15302 | TEL | 東京エレクトロン | 88DD | dry: Poly Etcher (88DD)/ 8in | Poly Etcher (88DD)/ 8in | Inq. | 6 | |
| * | 8DRYulv-va2-R0861 | ULVAC | アルバック | VA2000 | Dry Etch/8in. | ドライエッチ/8in. | Inq. | 1 |
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