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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 8DRYlam-tcp-P14693LAMラムリサーチTCP9400DFMdry: Poly EtcherポリエッチャーInq.1
* 8DRYnau-gse-S14807NAURANAURAGSE S200dry: ICP plasma etcherICPプラズマエッチャー20231
* 8DRYsam-rie-A14705SamcoサムコRIE-200IPCDry: ICP EtcherICP Etcher20071
* 8DRYsam-rie-A14706SamcoサムコRIE-212IPCDry: ICP EtcherICP Etcher20041
* 8DRYsam-rie-A14707SamcoサムコRIE-200LEDry: ICP EtcherICP Etcher20071
* 8DRYtel-88d-A15302TEL東京エレクトロン88DDdry: Poly Etcher (88DD)/ 8inPoly Etcher (88DD)/ 8inInq.6
* 8DRYulv-va2-R0861ULVACアルバックVA2000Dry Etch/8in.ドライエッチ/8in.Inq.1

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