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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 8CMPdis-dfs-P14900DiscoディスコDFS8960cmp: Surface Planer 平坦化装置20141
* 8CMPeba-epo-H15025EBARA荏原EPO-222ACMP/200mmCMP装置/200mm20002
* 8CMPeba-epo-P14700Ebara荏原EPO213CMP: Poly OxideCMP: Poly OxideInq.3

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