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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3RTPama-cen-A15194 | AMAT | AMAT | Centura 5200 | RTP/12in | RTP/12in | 2003 | 1 | |
| * | 3RTPmat-ast-A0803 | MATTSON | マットソン | AST3000 | RTP/12in. | RTP/12in. | 2007 | 3 | |
| * | 3RTPmat-hel-A1331 | MATTSON | マットソン | Helios | RTP/12in. | RTP | Inq. | 1 |
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