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| TTC ID | Maker | メーカー | 型式 | Description | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 3COAtel-lit-A2900 | TEL | 東京エレクトロン | Lithius I | Coat/Develop | コータ・デベロッパー | Inq. | 1 | |
| * | 3COAtel-lit-P15082 | TEL | 東京エレクトロン | Lithius Pro-AP | Coater/Developer | コーター・デベロッパ | Inq. | 1 | |
| * | 3COAtel-lit-P2082 | TEL | 東京エレクトロン | Lithius i | Coat and Develop | コータデベロッパ | Inq. | 1 | |
| * | 3COAtru-md--G12718 | TRUE PING TECHNOLOGY | TRUE PING TECHNOLOGY | MD-40 | Coater: HMDS | HMDSビート機 | 2016 | 1 |
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