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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 1EVAhit-e-2-E9403 | 日立ハイテク | E-201 | 蒸発装置 | 1988 | 1 | |
| * | 1EVAopt-otf-P4571 | OPTORUN | OTFG-1000C | 光学薄膜蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAsho-c-4-L0572 | 昭和真空 | C-461-C | 真空蒸着装置 | 1990 | 1 | |
| * | 1EVAsho-sbc-L0574 | 昭和真空 | SBC-6SA-RF | 真空蒸着装置 | 1989 | 1 | |
| * | 1EVAsho-sc--L0565 | 昭和真空 | SC-65A | コントローラ | Inq. | 5 | |
| * | 1EVAsho-sgc-A4660 | 昭和真空 | SGC-S1550i | 真空蒸着装置 | 2013 | 5 | |
| * | 1EVAulv-ebb-A1721 | アルバック | EBB-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAulv-ebx-A1722 | アルバック | EBX-16C | 蒸着装置 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAulv-ei--A14817 | アルバック | EI-5T | 蒸着機 | Inq. | 1 | |
| * | 1EVAulv-ei--A14818 | アルバック | ei-Opt085 | 蒸着機 | Inq. | 1 |
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