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| TTC ID | メーカー | 型式 | 品名・仕様 | 年式 | 台数 | 対応製品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 8OTHdis-dcs-A14671 | ディスコ | DCS141 | ウェハスクラバー | Inq. | 2 | |
| * | 8OTHdis-dcs-F12692 | ディスコ | DCS141 | ウェハクリーナー | Inq. | 1 | |
| * | 8OTHdns-ss--P14044 | 大日本スクリーン | SS-80A | スクラバー | Inq. | 1 |
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