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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 6OTHdns-ssw-P12035DNS大日本スクリーンSSW-629_Bother: Wafer scrubberウエハスクラバーInq.1
* 6OTHeco-eco-A11151ECOSYSECOSYSECOSYS/VectorOTH:ScrubberスクラバーInq.1
* 6OTHedw-edw-A11152EDWARDSEDWARDSEDWARDS/GRCDOTH:ScrubberスクラバーInq.1
* 6OTHipi-ipi-A11150IPIIPIIPI/ESCOTH:ScrubberスクラバーInq.1
* 6OTHkan-kt/-A11149KANKENKANKENKT/F5OTH:ScrubberスクラバーInq.1
* 6OTHlum-waf-A12657LumonicsLumonicsWAFERMARK 345other: Wafer marker/5inウェハマーカー/5inInq.1
* 6OTHuic-uic-A11153UICUICUIC/UIC30OTH:ScrubberスクラバーInq.1
* 6OTHult-uh--A1818UltronUltronUH-101COther: Curing/UV irradiationUV照射装置Inq.1
* 6OTHush-uma-A12658USHIOウシオ電機UMA-802-H6other: Exposure: UV/5inUV露光装置/5inInq.1
* 6OTHyes-yes-A14382YESYESYES-310TAother: Oven/6in.Oven/6in.Inq.1

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