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TTC IDMakerメーカー型式Description品名・仕様年式台数対応製品
* 1WETche-cc8-M13354Chemcut CorpChemcut CorpCC8000Wet: Etherエッチャー20121
* 1WETlam-sp4-Q12499Lam Research(Former SEZ)ラムリサーチ(Former SEZ)SP4200wet: Spin etcher/200mm片面スピンエッチャー/200mm20031
* 1WETset-tdc-Q15145SETSETTDCH061031-000-01Awet: Multi Etching/8in.マルチエッチング/8in.20071

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