| TTC ID | 1SPUtem-bjd-H8307 |
|---|---|
| Maker | TEMESCAL |
| メーカー | TEMPHI5400 L |
| 型式 | BJD-1800 |
| Description | Spu: Evaporator |
| 品名・仕様 | 蒸着装置 |
| 年式 | 2002 |
| 台数 | 1 |
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