| TTC ID | 5INSkla-sfs-A6671 |
|---|---|
| Maker | KLA-Tencor |
| メーカー | KLA-Tencor |
| 型式 | SFS 7700 |
| Description | insp: Particle inspection system |
| 品名・仕様 | パーティクル検査機 |
| 年式 | 1994-1996 |
| 台数 | 4 |
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