| TTC ID | 1CLEute-swc-H5120 |
|---|---|
| Maker | UTE(ULTRA t Equipment) |
| メーカー | UTE(ULTRA t Equipment) |
| 型式 | SWC111 |
| Description | cle: Wafer Wash Cleaner |
| 品名・仕様 | ウェハクリーナー |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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