| TTC ID | 5MEAkla-rs7-A15304 |
|---|---|
| Maker | KLA |
| メーカー | KLA |
| 型式 | RS75 |
| Description | meas: Resistivity Mapping System/ 8in |
| 品名・仕様 | シート抵抗マッピング装置/8in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 2 |
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