| TTC ID | 8CLEfsi-exc-A15299 |
|---|---|
| Maker | FSI |
| メーカー | FSI |
| 型式 | EXCALIBUR |
| Description | cle: Vapor Phase Processor Wafer Etcher Cleaner/ 8in |
| 品名・仕様 | 蒸気相ウェーハ洗浄・エッチングシステム/ 8in |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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