| TTC ID | 5INSkla-mic-P15261 |
|---|---|
| Maker | KLA |
| メーカー | KLA |
| 型式 | Microvision 996M+ |
| Description | Inspection System |
| 品名・仕様 | 外観検査装置 |
| 年式 | 2018 |
| 台数 | 3 |
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