| TTC ID | 3PVDulv-ent-A15198 |
|---|---|
| Maker | ULVAC |
| メーカー | アルバック |
| 型式 | ENTRON W300T |
| Description | pvd: Sputter/12in |
| 品名・仕様 | スパッター/12in |
| 年式 | 2004 |
| 台数 | 1 |
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