| TTC ID | 5INShmi-esc-A15181 |
|---|---|
| Maker | HMI/ASML |
| メーカー | HMI/ASML |
| 型式 | eScan310 |
| Description | insp: Wafer inspection |
| 品名・仕様 | ウェハ検査装置 |
| 年式 | 2008 |
| 台数 | 1 |
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