| TTC ID | 5MEAkla-ase-P15086 |
|---|---|
| Maker | KLA |
| メーカー | KLA |
| 型式 | ASET-F5X |
| Description | Measurement: Film thickness |
| 品名・仕様 | 膜厚測定機 |
| 年式 | 2005-2006 |
| 台数 | 2 |
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