| TTC ID | 6IONaxc-gsd-A15044 |
|---|---|
| Maker | Axcelis |
| メーカー | Axcelis |
| 型式 | GSD-200E |
| Description | ion: Implanter/5in |
| 品名・仕様 | 注入機/ 5in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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