| TTC ID | 6PVDulv-sv--Q14999 |
|---|---|
| Maker | ULVAC |
| メーカー | アルバック |
| 型式 | SV-4540-C12 |
| Description | PVD: Sputter/4inch |
| 品名・仕様 | スパッタ装置/4inch |
| 年式 | 1997 |
| 台数 | 2 |
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