| TTC ID | 5INSkla-arc-A14820 |
|---|---|
| Maker | KLA |
| メーカー | KLA |
| 型式 | Archer100 |
| Description | insp: Overlay Metrology System/12in. |
| 品名・仕様 | オーバーレイ検査装置/12in. |
| 年式 | 1997 |
| 台数 | 1 |
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