| TTC ID | 7TRAasy-wms-P14697 |
|---|---|
| Maker | ASYST |
| メーカー | ASYST |
| 型式 | WMS2200 |
| Description | trans: Wafer Management System |
| 品名・仕様 | ウェハハンドラ装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 2 |
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