| TTC ID | 6CLEfsi-mer-A14397 |
|---|---|
| Maker | FSI |
| メーカー | FSI |
| 型式 | MERCURY |
| Description | cle: Spin Etch system/6in. |
| 品名・仕様 | スピンエッチ装置/6in. |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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