| TTC ID | 6CMPspe-50g-P14393 |
|---|---|
| Maker | Speedfam |
| メーカー | スピードファム |
| 型式 | 50GPAW-TD |
| Description | cmp: Polisher/Single side |
| 品名・仕様 | 片面研磨装置 |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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