| TTC ID | 6CVDaix-aix-A14380 |
|---|---|
| Maker | Aixtron |
| メーカー | Aixtron |
| 型式 | AIX2600G3 |
| Description | CVD: MOCVD(GaAs)/4in. |
| 品名・仕様 | MOCVD(GaAs)/4in. |
| 年式 | 1999-2001 |
| 台数 | 3 |
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