| TTC ID | 1SPUhit-01e-Q14215 |
|---|---|
| Maker | Hitachi High-Tech Fielding |
| メーカー | 日立ハイテクフィールディング |
| 型式 | 01E-6377 |
| Description | spu: Target (Pt-Pd) for ion sputter (E-1030) |
| 品名・仕様 | イオンスパッタ装置(E-1030)用ターゲット(Pt-Pd) |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 4 |
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