TTC ID1SPUhit-01e-Q14215
MakerHitachi High-Tech Fielding
メーカー日立ハイテクフィールディング
型式01E-6377
Descriptionspu: Target (Pt-Pd) for ion sputter (E-1030)
品名・仕様イオンスパッタ装置(E-1030)用ターゲット(Pt-Pd)
年式Inq.
台数4

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