| TTC ID | 8STEcan-fpa-A13717 |
|---|---|
| Maker | Canon |
| メーカー | キヤノン |
| 型式 | FPA-6000AS4 |
| Description | Stepper: ArF scanner/8in. |
| 品名・仕様 | ArFスキャナー/8in. |
| 年式 | 2003-2004 |
| 台数 | 2 |
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