| TTC ID | 5INSkla-edr-A13316 |
|---|---|
| Maker | KLA |
| メーカー | KLA |
| 型式 | eDr7280 |
| Description | Inspection: E-Beam Wafer Defect Review |
| 品名・仕様 | 電子ビームウェーハ欠陥レビュー |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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