| TTC ID | 6CVDaix-aix-A13209 |
|---|---|
| Maker | Aixtron |
| メーカー | アイクストロン |
| 型式 | AIX2400G3HT(42*2") |
| Description | CVD: MOCVD |
| 品名・仕様 | MOCVD |
| 年式 | 2007 |
| 台数 | 1 |
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