| TTC ID | 8IONvar-ehp-A12685 |
|---|---|
| Maker | Varian |
| メーカー | Varian |
| 型式 | EHP500 |
| Description | ion: Implanter/8in |
| 品名・仕様 | イオン注入機/8in |
| 年式 | 1995 |
| 台数 | 1 |
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