| TTC ID | 6IONvar-120-A12644 |
|---|---|
| Maker | Varian |
| メーカー | Varian |
| 型式 | 120XP |
| Description | Ion: Implanter(H/C)/5in |
| 品名・仕様 | 注入装置(H/C) /5in |
| 年式 | Inq. |
| 台数 | 1 |
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